變壓吸附空分制氧工藝是二十世紀(jì)七十年代初由美國聯(lián)碳公司和德國AG公司先后開發(fā)成功，并開始在日本應(yīng)用于污泥曝氣處理和煉鋼。1975年，美國空氣與化學(xué)品公司（APCI）開發(fā)成功真空解吸流程的變壓吸附制氧工藝（VSA或VPSA），使氧氮分離效率提高并降低了制氧能耗。因此，變壓吸附制氧工藝根據(jù)解吸方式的不同可以分為兩類：PSA工藝，即在較高壓力下吸附、在常壓下解吸的工藝；VSA或VPSA工藝，即在常壓或略高于常壓下吸附、抽真空解吸的工藝。在同等制氧規(guī)模下，PSA工藝比VSA（或VPSA）工藝設(shè)備簡單、投資少，但PSA工藝制氧能耗比VSA（或VPSA）工藝高。在產(chǎn)氧規(guī)模較小時(shí)，投資占主導(dǎo)地位，PSA工藝較為合適，而在產(chǎn)氧規(guī)模較大時(shí)，電耗導(dǎo)致的運(yùn)行費(fèi)用更加重要，采用VSA或VPSA工藝更為經(jīng)濟(jì)。
縱觀二十多年來變壓吸附空分制氧技術(shù)的發(fā)展，可以說始終圍繞兩個(gè)重點(diǎn)：一是新吸附劑的開發(fā)利用，二是工藝流程的改進(jìn)和完善。新型吸附劑的應(yīng)用和工藝流程的不斷改進(jìn)，使得變壓吸附空分制氧裝置的性能指標(biāo)不斷提高、裝置規(guī)模越來越大，目前在規(guī)模為6000～10000Nm3/h以下的大多數(shù)用氧場合，變壓吸附制氧裝置因具有能耗低、投資少、操作靈活的優(yōu)勢，比采用深冷工藝的制氧裝置更為經(jīng)濟(jì)適用，競爭力日漸增強(qiáng)，因而促使深冷空分工藝也不斷改進(jìn)，形成兩者互相促進(jìn)、競相發(fā)展的局面。
